型號：

多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏)20160805

描述：產(chǎn)品簡介：GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間

廠商性質(zhì)
經(jīng)銷商
更新時間
2024-03-07
訪問量
291

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詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介： GSL-LCD 是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜可以承重 1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一 6"的觸摸屏上，同時可以實(shí)時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD 實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品型號

GSL-LCD(控制面板為觸摸屏）

技術(shù)參數(shù)

功能

雙通道

三通道

四通道

五通道

質(zhì) 子流量控制器

工作溫度： 5~45ºC

壓力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S. 重復(fù) 精

度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路:1~199 SCCM

二路:1~499 SCCM

注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度： 5~45 ºC

壓力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S.

重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~499 SCCM

注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 ºC

壓力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S. 重復(fù) 精

度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 ºC

壓力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性: ±（0.5-1.5）%F.S.

重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客戶要求定制

產(chǎn)品規(guī)格	外形尺寸： 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
輸入電源	AC 220V/50Hz 單相
功率	23W
	各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一 6"的觸摸屏上 RS485 通訊接口和 PC 控溫軟件可以連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
PLC 觸摸屏
機(jī)械壓力表	有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
針閥	316 不銹鋼
通氣管道	內(nèi)部連接管道為 1/4”不銹鋼管外部通氣管道為 1/4”聚四氟管
混氣罐	Φ80X120mm
截止閥及配件	316 不銹鋼針閥 Φ1/4” 不銹鋼管