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型號(hào):

多路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)

描述:產(chǎn)品簡介:多路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)是用于控制一種到多種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐

  • 廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間

    2024-03-07
  • 訪問量

    317
詳細(xì)介紹


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產(chǎn)品簡介: 多路質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)是用于控制一種到多種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐, 這種氣體控制系 統(tǒng)安裝在移動(dòng)架內(nèi), 管式爐可以放在移動(dòng)架上面, 氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié) 閥,可以用于 CVD 系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料 學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用, 廣泛應(yīng)用于 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、 CVD、等離子濺射以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、混氣配氣系統(tǒng)及其它 分析儀器。


產(chǎn)品型號(hào)

混氣系統(tǒng) 2 路質(zhì)子 GSL-2Z 、混氣系統(tǒng) 3 路質(zhì)子 GSL-3Z 、混氣系統(tǒng) 4 路質(zhì)子 GSL-4Z

主要特點(diǎn)

精度高,運(yùn)行穩(wěn)定可靠,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,且操作使用方便。

技術(shù)參數(shù)

1、電源: 185-245V    50Hz


2、輸出功率: 18W


3、控制范圍: GSL-2Z 控制器 1——1-199SCCM 、控制器 2——1-499SCCM


GSL-3Z     1——0-100SCCM 、    2——1-199SCCM 、   

3——1-499SCCM


GSL-4Z     1——0-100SCCM 、    2——1-199SCCM 、    3——1-199SCCM 、控制器 4——1-499SCCM

4、壓力: 3×106 Pa


5、準(zhǔn)確度:± 1%FS


6、線性:±0.5-1.5%


7、重復(fù)精度:±0.2%FS


8、響應(yīng)時(shí)間: 氣特性 1-4s ,電特性 10s 針閥: 316 不銹鋼


9、工作壓差范圍: 0.1-0.5 MPa





10、壓力表測量范圍: -0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid


11、混氣罐: ?80mm×120mm


12、截止閥: ?1/4″ ,316 不銹鋼針閥


13、工作溫度: 5-45

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸: 600mm×600mm×650mm


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