產(chǎn)品型號

1200℃開啟式雙溫區(qū)管式爐 OTF-1200X-II

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源 （標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 200kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<60℃。

2 、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時延長使用壽命。

3、設(shè)有超溫及斷偶報警功能。

4 、采用 PID 控制器， 可以設(shè)置 30 段升降溫程序。

5 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    4KW

2、石英管： 外徑 Ø50mm ，內(nèi)徑 Ø44mm ，長 1000mm

外徑 Ø60mm ，內(nèi)徑 Ø54mm ，長 1000mm

外徑 Ø80mm ，內(nèi)徑 Ø74mm ，長 1000mm

外徑 Ø100mm ，內(nèi)徑 Ø94mm ，長 1000mm

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、溫區(qū)： 2 個

5、加熱區(qū)域： 400mm（200mm+200mm）

6 、工作溫度：  1200℃ ，連續(xù)工作 1100℃

7、升降溫速率： 20℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9、真空度： 10-2torr （機(jī)械泵）， 10-5torr  （分子泵）

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 1000mm×380mm×520mm

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1 根

2

不銹鋼真空法蘭

1 套

可選配件

1 、疊型法蘭

2、鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm

3、數(shù)字真空計

4 、PC 控制軟件