型號：

VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

描述：產(chǎn)品簡介：VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），控制面板采用觸摸屏模式，基片極限尺寸為2″，放置樣品的直徑為?50mm，加熱溫度達(dá)500℃

廠商性質(zhì)
經(jīng)銷商
更新時(shí)間
2024-03-07
訪問量
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詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介： VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），控制面板采用觸摸屏模式，基片極限尺寸為 2″ ，放置樣品的直徑為 ?50mm ，加熱溫度達(dá) 500℃。 VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材，不可以濺射輕金屬和碳。本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜，適用于實(shí)驗(yàn)室制備復(fù)膜的樣品。 VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀采用 PLC 控制面板對設(shè)備進(jìn)行控制，操作方便直觀。該機(jī)設(shè)備小巧，占用實(shí)驗(yàn)室空間少，操作簡單，應(yīng)用廣泛。因此被廣泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實(shí)驗(yàn)室中。

產(chǎn)品名稱	VTC-16-3HD 3 靶等離子濺射儀
產(chǎn)品型號	VTC-16-3HD 3
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下，溫度 25℃±15℃，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上）清洗，需自備氬氣氣瓶 4、工作臺：尺寸 600mm×600mm×700mm ，承重 50kg 以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)	1 、PLC 控制面板， 4.3″觸摸屏， PID 控溫方式。 2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。
	3、可與真空泵、不銹鋼波紋管 KFD25 快速卸裝卡箍連用。 4 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)	1、輸入功率： 110V/220V 通用 2000W （含真空泵） 2、輸出功率： 1600VDC 50mA（max 電流）
	3、石英罩： ?160mm×120mm 4、樣品臺： ?50mm （可選購加熱型樣品臺，極限溫度可到500℃；極限濺射時(shí)間不可超過5min） 5、真空泵： 120L/M 旋片式真空泵 6、進(jìn)氣口：裝有精密可調(diào)針閥，以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 7、靶材：尺寸直徑 ?47mm ，厚度 0.5mm-3mm；可濺射 Au 、Ag 、Pt 、Cr 、Ni，不可濺射氧化物、半導(dǎo)體、一些輕金屬、 Al 、Zn 、C 等
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸： 360mm ×350mm×3600mm；重量： 50kg
可選配件	1 、KF25 真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管（600mm） 3、旋片式真空泵（ 120L/M） 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺