產(chǎn)品名稱

GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

GSL-1100X-SPC-16

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺(tái)： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，,承重 50kg 以上

5、通風(fēng)裝置：不需要

主要特點(diǎn)

1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。

2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得的鍍膜效果。

   3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

   4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

   5、根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

技術(shù)參數(shù)

   1、電源： 220V

    2、總功率： <2000W  （包括真空泵）

    3、真空室： Ø160mm×120mm

    4 、樣品臺(tái)： Ø50mm，且高度可調(diào)， 可同時(shí)進(jìn)行 8 個(gè) SEM 樣品的鍍膜

    5 、max 均勻鍍膜： Ø45mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 400mm×300mm×400mm；重量： 30kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

金靶材

1 個(gè)

2

進(jìn)氣針閥

1 個(gè)

3

保險(xiǎn)絲

2 個(gè)

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材