產(chǎn)品型號

大口徑管式真空氣氛爐 GSL-1100X

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC380V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源 （標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 300kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1 、石英管外徑為 6″ 、8″ 、8.5″ 、11″

2 、采用 PID 控制器， 可以設(shè)置 51 段控溫程序。

3、控溫精度高，保溫效果好，溫度范圍大，爐膛溫度均勻性高，可通氣氛抽真空。

4、安全可靠，操作簡單。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 380V    50Hz/60Hz    5KW

2、石英管： Ø152mm×1000mm，Ø203mm×1000mm，Ø216mm×1000mm，Ø280mm×1000mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁

4、加熱區(qū)域： 900mm

5、溫區(qū)： 3 個， 各 300mm 長

6、恒溫區(qū)域： 550mm

7 、溫度： 1100℃

8、工作溫度： 1000℃

9、升溫速率： 20℃/min

10、推薦升溫速率： 10℃/min

11、控溫精度：± 1℃

12、控溫段數(shù)： 51 段

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 1300mm×650mm×1050mm；重量： 150kg

標準配件

1

石英管

1 根

2

管堵

4 個

3

坩堝鉗

1 把

4

熱電偶

1 根

5

真空法蘭

1 套

6

高溫手套

1 雙

可選配件

1、石英管

2、氧化鋁坩堝

3、石英坩堝

4、真空泵