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描述:產(chǎn)品簡介:快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達(dá)3″)的退火而設(shè)計,配有3路流量計和機(jī)械泵
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2024-03-12訪問量
213產(chǎn)品簡介: 快速升溫 CVD 系統(tǒng) RTP-1000-F3LV 是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達(dá)
3″ )的退火而設(shè)計, 配有 3 路流量計和機(jī)械泵。本機(jī)采用 9KW 的紅外燈進(jìn)行加熱, 升溫速度可達(dá)
100℃/s ,配有 RS485 接口,可以通過控制軟件在計算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。
產(chǎn)品型號 | 快速升溫 CVD 系統(tǒng) RTP-1000-F3LV |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 |
1、水:不需要 | |
2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地 | |
3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源 | |
4、工作臺: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上 5、通風(fēng)裝置:需要 | |
主要特點(diǎn) | 1 、雙層 Al2O3 纖維鋼構(gòu),無需水冷或風(fēng)冷。 |
2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。 | |
3 、PID 控制器 ,可以設(shè)置 30 段升降溫程序,并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。 | |
4 、已通過 CE 認(rèn)證。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1 、電源: 單相 208V-240V AC 50Hz/60Hz 9KW |
2、石英管: 外徑 ?110mm ,內(nèi)徑 ?103mm ,長 380mm | |
3、加熱元件:紅外燈管, 直徑 ?10mm ,長 300mm | |
4、加熱區(qū): 300mm |
5 、工作溫度: 溫度 1100℃ | |
6 、控溫精度:±0.5℃ | |
7、升溫速度: RT-800℃時為 50℃/s ,800℃-1000℃時為 10℃/s | |
8、溫控儀:可控硅( SCR)PID 自動控制 | |
9 、真空法蘭: 不銹鋼,帶有水冷接口和針閥,雙層高溫 O 型圈密封,長時間在>900℃條件下 運(yùn)行必須采用水冷, 循環(huán)水流量為 0.5m3/hr | |
10、真空度: 10-3torr | |
11、流量計: 3 個, 量程 40cc/min-400cc/min ,精度 4%FS | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸: 爐體 760mm×330mm×530mm ,真空混氣系統(tǒng) 600mm×600mm×597mm |
重量: 爐體 45kg ,真空混氣系統(tǒng) 30kg | |
可選配件 | 防腐型數(shù)字式真空顯示計 |
我們相信好的產(chǎn)品是信譽(yù)的保證!
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