產(chǎn)品型號

1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣 CVD 系統(tǒng) OTF-1200X-4-C4LV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、采用高純氧化鋁保溫材料，保證了的溫度均勻性。

2 、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。

3 、采用 PID 控制器 ，可以設(shè)置 30 段升降溫程序。

4、金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生 CVD 反應(yīng)。

5、采用雙管真空密封法蘭，允許反應(yīng)氣體通過兩管之間（ 10mm 間隙）。

6、冷卻氣體直接通入內(nèi)管。

7 、配有帶 KF25 快接和波紋管的高速機(jī)械泵。

8、爐底部裝有滑軌，爐體可從一端滑向另一端， 從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。為了獲得較快的 加熱速度， 可以先將爐體預(yù)熱， 然后滑至放置樣品處； 為了獲得較快的冷卻速度， 可將爐 體滑至另一端，同時(shí)將冷氣通入樣品所在處。

9、密封法蘭系統(tǒng)采用不銹鋼制作。

10 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1 、電源： 單相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    2.5KW （20A 保險(xiǎn)絲）

2、石英管： 外管外徑 ?100mm ，內(nèi)徑 ?96mm ，長 1400mm

內(nèi)管外徑 ?80mm ，內(nèi)徑 ?75mm ，長 1400mm

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲（表面涂有氧化鋯）

4、加熱區(qū)域： 440mm

5、恒溫區(qū)域： 120mm （± 1℃在 400℃-1100℃）

6 、工作溫度：  1100℃ ，連續(xù)工作 1000℃

7、升降溫速率： 20℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9、真空度： 10-3torr （機(jī)械泵）， 10-5torr  （分子泵）

質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

1、質(zhì)子流量計(jì)： 4 路精密質(zhì)子流量計(jì)，數(shù)字顯示，氣體流量自動(dòng)控制

MFC1 范圍 0-100sccm，MFC2 范圍 0-200sccm，MFC3 范圍 0-200sccm，MFC1 范圍 0-500sccm

2、流量精度： 0.2%

3、氣路： 4 路（每個(gè)氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制）

4、進(jìn)出氣口： 1/4"卡套

5、混氣罐： 1 個(gè)

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 管式爐 550mm×380mm×520mm ，移動(dòng)架 600mm×600mm×597mm

重量： 135kg

可選配件

1、分子泵

2、雙溫區(qū)管式爐

3、銅箔（生長石墨烯 150mm×150mm×25µm）