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描述:產(chǎn)品簡介:1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)和雙旋片式真空泵組成,工作溫度可達(dá)1700℃,混氣系統(tǒng)可以對三種氣體進(jìn)行精確的混氣,真空度可達(dá)5×10-2torr
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174產(chǎn)品簡介: 1700℃單溫區(qū)三通道混氣 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-F3LV 是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng) 和雙旋片式真空泵組成,工作溫度可達(dá) 1700℃ ,混氣系統(tǒng)可以對三種氣體進(jìn)行精確的混氣,真空度可 達(dá) 5 ×10-2 torr。
產(chǎn)品型號(hào) | 1700℃單溫區(qū)三通道混氣 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-F3LV |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水:不需要 2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體,需自備氣瓶氣源 4、工作臺(tái): 尺寸 1600mm×600mm×700mm ,承重 150kg 以上 5、通風(fēng)裝置:需要 |
主要特點(diǎn) | 1、雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<55℃。 2、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,有效減少能量損失。 3 、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和延長使用壽命。 4 、采用 PID 控制器 ,可以設(shè)置 30 段升降溫程序,并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。 |
5 、已通過 CE 認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 管式爐 1 、電源: 單相 AC 208V-240V 50Hz/60Hz 5KW 2、爐管: 99.8%高純氧化鋁陶瓷管, 外徑 ?80mm ,內(nèi)徑 ?72mm ,長 1000mm 3、加熱元件: 1800℃級(jí)硅鉬棒 8 根 4、加熱區(qū)域: 457mm 5、恒溫區(qū)域: 150mm 6 、工作溫度: 1700℃ 7、升降溫速率: 5℃/min 8、控溫精度:± 1℃ 9、真空度: 5×10-2 torr 10、泄漏率: 6mtorr/min |
真空系統(tǒng) 1、真空泵:雙旋片機(jī)械泵 2、可達(dá)真空度: 5×10-2 torr 3、法蘭:不銹鋼密封法蘭 4、針閥: 2 個(gè)不銹鋼針閥 | |
5、真空泵接口: KF-25 6、軟管接頭: 1/4″ 7、真空顯示計(jì): LED 數(shù)字式真空顯示計(jì), 測量范圍 0.1mtorr-850torr | |
浮子流量混氣系統(tǒng) 1、浮子流量計(jì): 3 個(gè), 精確度 4%FS 2、流量計(jì)范圍: 10cc/min-100cc/min ,16cc/min-160cc/min ,25cc/min-250cc/min 3、壓力表: 1 個(gè),監(jiān)測混合氣體壓力 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:管式爐 550mm×500mm×700mm,混氣系統(tǒng) 600mm×600mm×700mm,真空機(jī)組 600mm× 600mm×700mm |
重量: 210kg | |
可選配件 | 防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì) |
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